Hazırlık ve uygulama yöntemi
BMP formatındaki kürelerin Jeol JCM6000+ Taramalı Elektron Mikroskobu-İkincil Elektron (SEM-SE) analiz görüntüsü Şekil1 de belirtilmiştir.
Analiz sonuçları
Analiz sırasında, tam kürelerin dairesel çapı ve küreselliği ile gözeneklerin alanı ölçülür. Nihai sonuçlar doğrudan Clemex Vision'dan dışa aktarılabilir.
Kullanılan ekipmanlar
Ekipman seçiminde dikkat edilmesi gereken noktalar
- Elektron mikroskoplarında dedektörler aldıkları sinyali ekrana görüntü olarak aktarırlar. Bu sebeple dedektörlerin özellikleri ve çeşitliliği önemlidir. Genel olarak görüntülemeler SED (secondary electron detector) ile yapılır ancak yapıyı oluşturan elementler farklı tonlarda görüntülenmek isteniyorsa ve kimyasal analiz yapılmak isteniyorsa BSE (Backscattered electron detector) ve EDS (Energy Dispersive Spectroscopy) kullanılır. Bu sebeple yapılacak analize göre cihazın bu dedektör türlerini içerip içermemesi önemlidir.
- Numuneler iletken olmayan malzemeler de olabilir. Elektron mikroskopları ile iletken olmayan malzemeler incelenmek istendiğinde numunelerin Au yada Pt ile kaplanması gerekir. Ancak cihazda düşük vakum özelliği bulunuyorsa kaplama yapmadan da görüntülemeler yapılabilir.
- Elektron mikroskoplarında numune cihaz içerisine yerleştirildikten sonra vakumlama işleminin bitmesi için belli bir zaman geçmesi gerekir. Bu süre cihaza göre değişkenlik göstermekle beraber Jeol Neoscope modelinde 3 dakikadan daha azdır. Bazı cihaz modellerinde 15 saat beklemek gerekir.
- Cihazın numune haznesinin genişliği, içerisine koyulabilecek parça ebatlarını doğrudan etkilediğinden önemlidir.