Hazırlık ve uygulama yöntemi
Bu raporda, IEST-STD-CC1246D temizlik testi için 4 inçlik bir silikon wafer numune plakası şekilde gösterilmiştir.
Analiz sonuçları
Bulunan tüm parçacıklar ölçülmüş ve dağılımları bu grafikte rapor edilmiştir. Her bir boyut aralığı için partikül sayımı belirlenir ve kabul edilebilir maksimum sayımlarla karşılaştırılır.
Kullanılan ekipmanlar
Ekipman seçiminde dikkat edilmesi gereken noktalar,
- Partikülleri en net şekilde görmek için alttan aydınlatmalı mikroskop kullanılmalıdır. Bu şekilde hazırlanan filtreden ışık numune den geçerek net bir görüntü sağlar.
- Manuel sayım çok zor olacağı için motorize sistem gereklidir. Motorize sistem ile numuneyi tamamen tarayarak tüm partikülleri yakalayabiliriz.
- Yazılım , otomatik analize ve analiz içinde mudaheleye elverişli olmalıdır. Bu sayede, gözden kaçan noktalar düzeltilebilir.