- Substrata giren geri saçılmış elektronları en aza indiren elektron kaynağı.
- Film emilimini azaltır.
- Yüksek vakum tutarken harici hızlandırıcı voltaj seçimi.
- Çapı 50 mm'ye kadar geniş ışın tarama aralığı.
- 270 ° sabit mıknatıs, elektromıknatıs ve uzun ömürlü filaman içerir.
- Kirlenme direnci ve kolay bakım sağlayan basit tasarım.
Özellikler
| Maksimum güç | 10 kW (10 kV'de 1A) |
| Hızlanan voltaj aralığı | -4 ila -10 kV |
| Işın sapma açısı | 270 ° (sabit mıknatıs ve elektromıknatıs kullanılır) |
| XY tarama genişliği | Maksimum 50 mm çapında (-6 kV'de) |
| XY hareketi | Maksimum 50 mm çapında (-6 kV'de) |
| Tarama sıklığı | X: 50 Hz; Y: 500 Hz |
| Çalışma basıncı | 7,0x10 -2 ila 5,0x10 -5 Pa |
| Soğutma suyu | 5 ila 8 lit / dak (sıcaklık 10 ila 25 ° C) Fark basıncı: 0,15 ila 0,3 MPa |
| Dış boyutlar | 177 (G) x 284 (D) x 140 (Y) mm |
| Ağırlık | Yaklaşık. 14kg |
| Uygulanabilir güç kaynakları | JST-3F, JST-10F, JST-16F |