Yumuşak X-ışını Emisyon Spektrometresi (SXES) olağanüstü yüksek enerji sağlar. yeni bir kombinasyonu ile çözünürlük gelişmiş kırınım ızgarası ve bir yüksek hassasiyetli 
CCD kamera.
SXES karşılaştırılabilir paralel algılama sağlar.
EDS ve 0.3 eV enerji sağlar.
çözünürlük (Fermi kenarı: Al-L) aşan
Enerji çözünürlüğü açısından WDS.
* Bu spektrometre bir EPMA veya FE-SEM.